產(chǎn)品介紹
氧化鋁(Al2O3)是精密陶瓷中常用的材料。我司供應(yīng)純度為99.5%和99.9%的產(chǎn)品。
半導(dǎo)體制造設(shè)備部品(腔體部件、絕緣法蘭盤(pán)、蝕刻設(shè)備部件、晶圓夾盤(pán));粉碎機(jī)部件(分級(jí)機(jī)、氣流式粉碎機(jī)、珠磨機(jī));一般產(chǎn)業(yè)用部件(激光加工機(jī)噴嘴、轉(zhuǎn)軸、軸承);高精度用,精密用,耐熱用冶工具(定位治具、裝配夾具);耐磨耗部件(拉絲機(jī)導(dǎo)向輥、鋼絲通道、導(dǎo)軌);電絕緣部件(絕緣子、墊片、襯套)。
○ 氧化鋁是白色或乳白色的陶瓷,利用其優(yōu)異的電絕緣性能,早期開(kāi)始即應(yīng)用在電子部品上,使用量較多,是精密陶瓷中成本很低的材質(zhì)。
○ 我司供應(yīng)純度為99.5%和99.9%的高純度產(chǎn)品。高純度類(lèi)型氧化鋁的機(jī)械強(qiáng)度高、耐腐蝕性?xún)?yōu)異,可生產(chǎn)大型產(chǎn)品。
○ 此外,由于其具有優(yōu)異的耐等離子特性,也可用于CVD設(shè)備或蝕刻設(shè)備的部件。
型號(hào) |
特點(diǎn) |
密度 |
楊氏彈性模量 |
彎曲強(qiáng)度 |
斷裂韌性 |
熱膨脹系數(shù) |
熱傳導(dǎo)率 |
體積電阻 |
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|
[g/cm3] |
[GPa] |
[MPa] |
[MPa?m1/2] |
[×10-6/K] |
[W/m?K] |
[Ω?cm] |
氧化鋁99.5% |
用途廣泛高剛性 |
3.9 |
370 |
440 |
3~4 |
6.3 |
33 |
>1014 |
氧化鋁99.9% |
高純度高剛性 |
3.9 |
370 |
450 |
3~4 |
6.3 |
30 |
>1014 |