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康柏工業(yè)陶瓷有限公司

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產(chǎn)品中心Product Center

半導(dǎo)體氧化鋁陶瓷件類別:半導(dǎo)體陶瓷件

簡介:半導(dǎo)體制造設(shè)備部品(腔體部件、絕緣法蘭盤、蝕刻設(shè)備部件、晶圓夾盤);粉碎機(jī)部件(分級機(jī)、氣流式粉碎機(jī)、珠磨機(jī));一般產(chǎn)業(yè)用部件(激光加工機(jī)噴嘴、轉(zhuǎn)軸、軸承);高精度用,精密用,耐熱用冶工具(定位治具、裝配夾具);耐磨耗部件(拉絲機(jī)導(dǎo)向輥、鋼絲通道、導(dǎo)軌);電絕緣部件(絕緣子、墊片、襯套)。

產(chǎn)品介紹

氧化鋁(Al2O3)是精密陶瓷中常用的材料。我司供應(yīng)純度為99.5%和99.9%的產(chǎn)品。


氧化鋁(Al2O3)主要用途

半導(dǎo)體制造設(shè)備部品(腔體部件、絕緣法蘭盤、蝕刻設(shè)備部件、晶圓夾盤);粉碎機(jī)部件(分級機(jī)、氣流式粉碎機(jī)、珠磨機(jī));一般產(chǎn)業(yè)用部件(激光加工機(jī)噴嘴、轉(zhuǎn)軸、軸承);高精度用,精密用,耐熱用冶工具(定位治具、裝配夾具);耐磨耗部件(拉絲機(jī)導(dǎo)向輥、鋼絲通道、導(dǎo)軌);電絕緣部件(絕緣子、墊片、襯套)。


特點(diǎn)
○ 氧化鋁是白色或乳白色的陶瓷,利用其優(yōu)異的電絕緣性能,早期開始即應(yīng)用在電子部品上,使用量較多,是精密陶瓷中成本很低的材質(zhì)。

○ 我司供應(yīng)純度為99.5%和99.9%的高純度產(chǎn)品。高純度類型氧化鋁的機(jī)械強(qiáng)度高、耐腐蝕性優(yōu)異,可生產(chǎn)大型產(chǎn)品。

○ 此外,由于其具有優(yōu)異的耐等離子特性,也可用于CVD設(shè)備或蝕刻設(shè)備的部件。



型號

特點(diǎn)

密度

楊氏彈性模量

彎曲強(qiáng)度

斷裂韌性

熱膨脹系數(shù)

熱傳導(dǎo)率

體積電阻



[g/cm3]

[GPa]

[MPa]

[MPa?m1/2]

[×10-6/K]

[W/m?K]

[Ω?cm]

氧化鋁99.5%

用途廣泛高剛性

3.9

370

440

3~4

6.3

33

>1014

氧化鋁99.9%

高純度高剛性

3.9

370

450

3~4

6.3

30

>1014


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